半導體行業(yè)應用超純水設備,實(shí)現清洗用水的高純度
半導體行業(yè)的發(fā)展面臨著(zhù)一些挑戰。其中之一是半導體的制造需要使用大量的水資源。在半導體的制造過(guò)程中,需要使用超純水來(lái)清洗半導體芯片,去除表面殘留的微粒和金屬離子。因此,超純水設備的性能對半導體的制造質(zhì)量有著(zhù)重要的影響。
據了解,在半導體的制造過(guò)程中,需要保證其生產(chǎn)的清潔程度,所以使用的超純水設備產(chǎn)出的超純水作為清洗用水,其出水水質(zhì)可以達到電子級或工業(yè)級的水質(zhì)標準。一旦水質(zhì)不純,就會(huì )導致半導體芯片表面殘留的微粒和金屬離子不能完全去除,從而影響半導體的性能和質(zhì)量。因此,超純水設備的出水水質(zhì)對半導體的制造至關(guān)重要。
目前市面上常用的超純水設備應用反滲透工藝和EDI系統相結合的工藝來(lái)制取超純水。該設備出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃),具有環(huán)保、經(jīng)濟、發(fā)展潛力巨大等諸多優(yōu)勢。具體優(yōu)勢如下:
1、超純水設備內應用膜技術(shù)法,在保證系統高回收率的同時(shí),有效提高系統的產(chǎn)水水質(zhì)。
2、超純水設備可以連續穩定地制備出質(zhì)量良好的超純水,不會(huì )因為樹(shù)脂再生問(wèn)題而停止運行,設備結構設計比較嚴密,所以其占地面積非常小,可以為企業(yè)節省大量空間。
3、超純水設備內應用的EDI系統無(wú)須酸堿再生,是一種新型的脫鹽方式。該系統運行成本低、自動(dòng)化程度高,可連續工作,出水水質(zhì)好且穩定。
4、超純水設備遇故障能夠立即自停,具有自動(dòng)保護功能,且具有能耗低、水利用率高等優(yōu)勢。
總之,超純水設備在半導體行業(yè)中具有非常重要的應用價(jià)值,可有效實(shí)現清洗用水的高純度。它不僅可以清洗半導體芯片表面的微粒和金屬離子,還可以制備高純度的化學(xué)試劑。同時(shí),超純水設備也需要符合半導體制造過(guò)程中的嚴格要求,以保證出水水質(zhì)的穩定性和可靠性。
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